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Metal Organic Chemical Vapor Deposition
(MOCVD) CVD, bei dem auch reines Metall im Prozess vorkommt. S.a. MOVPE.
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https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=M&id=16877&page=1
Metal Organic Chemical Vapor Deposition
(MOCVD) CVD, bei dem auch reines Metall im Prozess vorkommt. S.a. MOVPE.
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